[发明专利]单晶压电谐振器及其形成方法和滤波器以及电子设备在审
| 申请号： | 202011634337.X | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114696779A | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 庞慰;班圣光 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H3/02;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京汉智嘉成知识产权代理有限公司 11682 | 代理人： | 姜劲;谷惠敏 |
| 地址： | 300457 天津市滨*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种单晶压电谐振器，包括由下至上依次堆叠的衬底、第一电极、压电层、第二电极和封装层，所述压电谐振器的压电层的表面设有多个厚度变化区。本发明还提出了该单晶压电谐振器的形成方法，以及一种单晶压电谐振器电子设备。根据本发明的技术方案，压电谐振器的压电层的表面分布有厚度变化区，通过控制厚度变化区的面积占比和下凹厚度占比来调节谐振器的K |
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| 搜索关键词： | 压电 谐振器 及其 形成 方法 滤波器 以及 电子设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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