[发明专利]MEMS扫描镜在审
| 申请号： | 202011635270.1 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112817143A | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 林育菁;畠山庸平;薛高鹏 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G01L1/20 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 李远思 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种MEMS扫描镜。该MEMS扫描镜的一具体实施方式包括：反射镜、用于使反射镜绕旋转轴旋转的压电致动器及反射镜偏转角度检测装置，反射镜偏转角度检测装置包括压阻式压力传感器，该传感器包括：第一导电类型导电半导体层；形成在半导体层中具有一个第二导电类型的压阻区域；形成在半导体层中压阻区域周围的保护区域，具有第一导电类型且杂质浓度大于半导体层的杂质浓度，形成在半导体层上的绝缘层，以及，形成在绝缘层上的金属布线，在该压阻区域设置四个端子，使该传感器具有X‑ducer配置且压阻区域具有被移除的中心区域；第一导电类型为n型，第二导电类型为p型；或者，第一导电类型为p型，第二导电类型为n型。该实施方式可提升感测精度。 | ||
| 搜索关键词： | mems 扫描 | ||
【主权项】：
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