[发明专利]一种可将供酸效率化的单晶圆清洗设备

摘要

本发明公开了一种可将供酸效率化的单晶圆清洗设备，包括设备外壳、设置在设备外壳内的复合腔体结构、以及设置在复合腔体结构内的晶圆支撑结构；设备外壳上安装有一种固定不动的喷淋管和多种可来回摆动的喷淋管，其中一种喷淋管为纳米级喷淋管；晶圆支撑结构用于使晶圆悬浮在其上方并向晶圆背面喷射清洗液；复合腔体结构内部设置有多层腔室大小可调的引流腔，复合腔体结构用以根据化学清洗液的类型使晶圆表面和背面的清洗液从其对应引流腔流至设备外部。本发明的洁净能力大大提升，提高了清洗效率和清洗效果，有效地保证了晶圆品质。