[发明专利]一种基于金属微腔阵列的微型光谱仪模组的实现方法在审
| 申请号： | 202011636504.4 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112834036A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 孙志军 | 申请（专利权）人： | 厦门脉驰科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28 |
| 代理公司： | 厦门市天富勤知识产权代理事务所(普通合伙) 35244 | 代理人： | 顾克帅 |
| 地址： | 361000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种基于金属微腔阵列的微型光谱仪模组的实现方法，以提高其光谱分辨率、降低微腔阵列中腔内介质层的制备方法的工艺复杂性；所述的微型光谱仪模组中包括具有以金属薄膜为反射层的Fabry‑Perot结构的微腔阵列和探测器阵列；所述的提高光谱分辨率的方法包括通过基于准单色光的预置校准信息和光谱重构来获取光谱的方法、和增加微腔阵列中的微腔单元数目；所述的微腔阵列中腔内介质层的制备方法是通过较少次数的工艺步骤来获得具有较大数目的不同厚度的腔内介质层，以此实现具有较大数目微腔单元的微腔阵列。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 金属 阵列 微型 光谱仪 模组 实现 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于厦门脉驰科技有限公司，未经厦门脉驰科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011636504.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
