[发明专利]掩模版修复控制方法、装置及计算机可读存储介质在审
| 申请号： | 202011637479.1 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112862696A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 杜武兵;林伟;司继伟 | 申请（专利权）人： | 深圳市路维光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G06T5/00 | 分类号： | G06T5/00;G06T5/50;G06T7/11 |
| 代理公司： | 深圳市翼智博知识产权事务所(普通合伙) 44320 | 代理人： | 黄莉 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例涉及一种掩模版修复控制方法、装置及计算机可读存储介质，所述方法包括以下步骤：读取待修复掩膜版的实际图像，从所述实际图像中提取待修复区域的图形并保存为第一图形；读取参照图像，从所述参照图像中选定与所述待修复区域对应的原始图形具有相同图形的区域作为参照区域并提取所述参照区域的图形保存为第二图形；调整所述第二图形的透明度直至能清晰看到下一层窗口的内容，将调整透明度后的第二图形保存为第三图形；将所述第三图形层叠于所述第一图形之上，且使所述第三图形与第一图形重叠；以及控制激光修复机根据所述第三图形的分界线对所述待修复掩膜版进行修复作业。本发明实施例可以有效提高修复时的效果和精度。 | ||
| 搜索关键词： | 模版 修复 控制 方法 装置 计算机 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
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