[发明专利]一种直拉单晶中掉棒的保护设备

摘要

本发明公开一种直拉单晶中掉棒的保护设备，包括导轨、抱爪和重量检测器，导轨用于设置在单晶炉副室内壁上，抱爪与导轨滑动连接，抱爪用于夹紧晶棒，重量检测器用于检测晶棒重量。本申请公开的直拉单晶中掉棒的保护设备，正常状态下，抱爪隐藏在副室阀仓内，不阻挡正常的晶棒拉制，重量检测器则实时检测拉出的晶棒的重量，当重量检测器检测到晶棒的重量变化值与预设值误差大于10kg时，抱爪迅速打开，并夹住掉落的晶棒，抱爪夹住掉落的晶棒后上升，沿着导轨上升至指定位置，使掉落的晶棒脱离坩埚中硅溶液液面，停炉处理，避免掉落的晶棒造成砸裂石英坩埚导致漏硅，预防二次事故的发生。