[发明专利]压电换能及压电换能器器的制备方法在审
| 申请号： | 202011638295.7 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112838158A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 吴健兴;但强;黎家健 | 申请（专利权）人： | 瑞声新能源发展（常州）有限公司科教城分公司;瑞声光电科技（常州）有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/09 | 分类号： | H01L41/09;H01L41/33;H01L41/332;H04R17/00;H04R31/00 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 赵胜宝 |
| 地址： | 213167 江苏省常州市武进*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种压电换能及压电换能器器的制备方法。压电换能包括第一晶圆和第二晶圆，所述第一晶圆具有由环形狭缝分隔成的位于中间区域的中心部和围合于所述中心部外的外环部；所述第二晶圆包括通过内环壁与中心部连接的内环膜、通过外环壁与外环部连接的外环膜及连接于内环膜和外环膜之间的环形振膜；通过制备第一晶圆，制备第二晶圆，再将第一晶圆和第二晶圆接合的方式，可以制备得到该压电换能器。由于压电环能器具有中心部和外环部，且内环膜和外环膜之间连接有弹性的环形振膜，使得中心部和内环膜均能振动，这样可以提高压电换能器的振动频率，改善灵敏度，另外，将内环膜和外环膜连接在一起，还能够提高结构的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 换能器器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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