[发明专利]基于模态重分布的MEMS谐振器及其调节方法在审
| 申请号： | 202011642670.5 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112865740A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 贾倩倩;杨晋玲;袁泉;陈泽基;刘文立;杨富华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H3/007 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 鄢功军 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种基于模态重分布的MEMS谐振器，包括：衬底；支撑结构，一端固定在所述衬底上；谐振单元，设有调整装置，所述谐振单元与支撑结构的另一端相连；电极，与所述谐振单元电连接，所述电极设置在所述谐振单元的侧面、上表面和/或下表面。本公开针对无线通信系统的不同应用需求，其结构可灵活设置，进而实现了对其性能的优化，有效摆脱了现有光刻精度工艺水平的限制，该MEMS谐振器具备尺寸小、易加工、节省空间等优势，有利于实现集成化、微型化，推动MEMS谐振器在智能传感领域的高端应用。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 模态重 分布 mems 谐振器 及其 调节 方法 | ||
【主权项】：
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