[发明专利]一种天然多糖改性树脂及其制备方法和应用、光刻胶有效
| 申请号： | 202011642781.6 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112778437B | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 李海波;李冰;李杰;杨谦;陈昕;王文芳;董栋;张宁 | 申请（专利权）人： | 北京科华微电子材料有限公司;北京科华丰园微电子科技有限公司;上海彤程电子材料有限公司;彤程新材料集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C08B37/02 | 分类号： | C08B37/02;C08B31/00;C08B37/08;C08B37/16;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 余菲 |
| 地址： | 101312 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供一种天然多糖改性树脂及其制备方法和应用、光刻胶，属于半导体材料技术领域。天然多糖改性树脂以天然多糖为主链结构，以带有酯类保护基团的氨基甲酸酯极性基团部分或全部取代天然多糖结构中的羟基中的氢原子，能够提高以天然多糖改性树脂作为基体树脂在光刻胶常用酯类溶剂中的溶解度，酯类保护基团能够在光酸的催化下脱保护，形成羧酸，使得天然多糖改性树脂溶于碱性显影液中。同时，天然多糖结构中的羟基中的氢原子部分或全部被带有酯类保护基团的氨基甲酸酯极性基团取代后，使得天然多糖改性树脂的侧链具有氨基甲酸酯极性基团，从而改善以天然多糖改性树脂作为基体树脂制成的光刻胶与基片的粘附性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 天然 多糖 改性 树脂 及其 制备 方法 应用 光刻 | ||
【主权项】：
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