[发明专利]桥链型图形化蓝宝石衬底、制备方法及LED外延片在审
申请号: | 202011643117.3 | 申请日: | 2020-12-30 |
公开(公告)号: | CN112750928A | 公开(公告)日: | 2021-05-04 |
发明(设计)人: | 陈薪安;王子荣;康凯 | 申请(专利权)人: | 广东中图半导体科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/22 | 分类号: | H01L33/22;H01L33/00;H01L21/033 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明实施例公开了一种桥链型图形化蓝宝石衬底、制备方法及LED外延片。该桥链型图形化蓝宝石衬底包括:蓝宝石基底;多个微结构,所述多个微结构位于所述蓝宝石基底上,相邻的两个所述微结构至少底部通过脊状的桥链结构连接。本发明实施例通过微结构及连接相邻微结构的桥链结构,可以进一步地避免蓝宝石衬底上外延生长时的位错缺陷,改善外延质量,同时一定程度上还能增加衬底与外延层的反射界面,增大反射界面面积,进一步改善光线的反射效率,使外量子提取率和LED芯片的亮度获得提高,实现高亮度的图形化蓝宝石衬底。 | ||
搜索关键词: | 桥链型 图形 蓝宝石 衬底 制备 方法 led 外延 | ||
【主权项】:
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