[发明专利]一种平面TEM样品的制备方法在审
| 申请号： | 202011643547.5 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112649624A | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 李全同;刘珠明;张衍俊;陈志涛 | 申请（专利权）人： | 广东省科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01Q30/20 | 分类号： | G01Q30/20;G01N1/28;G01N1/32;G01N1/34 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 陈旭红;吴落 |
| 地址： | 510000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种平面TEM样品的制备方法，包括：获取包含待测区域的平面TEM样品；其中，所述平面TEM样品的衬底面具有浅凹且未经过氩离子束减薄；对所述平面TEM样品进行氩离子束减薄，直到所述平面TEM样品表面形成穿孔且所述浅凹的边缘接触到所述待测区域时，停止氩离子束减薄，获得最终的平面TEM样品。本发明通过在平面TEM样品衬底面形成浅凹的处理，对所述衬底面形成浅凹的平面TEM样品进行氩离子束减薄，有效解决了在减薄过程中平面TEM样品表面待测区域被去除掉的问题，从而极大地提高了平面TEM样品的制备成功率和检测效率，进而降低了平面TEM样品的制备成本，缩短了制备时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 tem 样品 制备 方法 | ||
【主权项】：
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