[发明专利]一种分支型腔半导体可调谐激光器及制备方法有效
| 申请号： | 202011643736.2 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112864799B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 郑婉华;杜方岭;王海玲;王明金 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01S5/10 | 分类号： | H01S5/10;H01S5/40 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王文思 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种分支型腔半导体可调谐激光器，包括：第一光栅(1)，具有第一周期；至少一个第二光栅(5)和第三光栅(7)，分别具有第二周期和第三周期，其位于第一光栅(1)一端的分支上；多模干涉器(4)，用于连接第一光栅(1)和至少一个第二光栅(5)和第三光栅(7)；其中，第一光栅(1)与第二光栅(5)进行选模时，通过多模干涉器(4)得到第一波长范围的激光；第一光栅(1)与第三光栅(7)进行选模时，通过多模干涉器(4)得到第二波长范围的激光；第一波长范围与第二波长范围连续。本发明通过分区注电和选择区域注电，可以实现多段调谐范围的连接，从而实现大波长范围的输出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分支 半导体 调谐 激光器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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