[发明专利]跨导参数的测量电路及方法在审
申请号: | 202011643915.6 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN112858874A | 公开(公告)日: | 2021-05-28 |
发明(设计)人: | 胡江;耿霄雄;钟锋浩 | 申请(专利权)人: | 杭州长川科技股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01R27/08 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 安卫静 |
地址: | 310000 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种跨导参数的测量电路及方法,涉及半导体测量技术领域,包括:参数处理模块,以及与参数处理模块分别相连的电压测量模块和数模转换模块;其中,电压测量模块与被测器件连接,用于测量被测器件各个指定极的输出电压;数模转换模块用于输出与被测器件对应的输出值,以基于输出值抵消输出电压中的直流偏置;参数处理模块用于基于输出电压和输出值计算被测器件的跨导参数。本发明可以有效提高跨导参数测量的精度和稳定性。 | ||
搜索关键词: | 参数 测量 电路 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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