[实用新型]一种适用于大尺寸硅片的炉腔温控装置

摘要

本实用新型涉及光伏技术领域，公开了一种适用于大尺寸硅片的炉腔温控装置，包括主体，所述主体的内部设置有空腔，所述空腔内壁的两侧设置有固定座，所述固定座的内部设置有第一加热管，所述主体的外侧设置有凹槽，所述凹槽的内部设置有固定环，所述固定环与凹槽之间设置有轴承，所述固定环的外侧设置有第二加热管，所述主体的一侧固定有连接盘，所述连接盘的外侧设置有连接块，所述连接块的外侧固定有卡块。本实用新型通过设置的卡块和卡槽，根据卡块的大小与卡槽相匹配，使得五组主体能够成为独立的个体，以便于后期的维修更换工作，在进行连接时，也只需将卡块对应插入卡槽内并随卡槽的轨迹进行转动即可完成固定，方便快捷，灵活性高。