[实用新型]带消除静电装置的回流式圆盘

摘要

一种带消除静电装置的回流式圆盘，包括回流式圆盘主体和除静电装置，所述除静电装置设在所述回流式圆盘主体的内底面上，所述除静电装置包括底板，在所述底板的上底面上设有向上的凸起，所述凸起的圆周通过弧面与所述底板圆周过渡连接构成中间高边沿低的回旋体；在所述底板的下底面上设有可与外置的离子风源相连接的环形槽，在所述底板的圆周侧面上设有若干向同一方向斜向布置的出气孔，所述出气孔的内端与所述环形槽贯通。本实用新型可以直接近距离将离子风吹到器件和圆盘中，从而可有效的去除了回流式圆盘和器件的静电。