[实用新型]一种用于激光干涉仪信号误差的实时补偿装置有效
| 申请号： | 202020026455.1 | 申请日： | 2020-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN211346687U | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 王志松 | 申请（专利权）人： | 昆山全特精密机械有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/02 |
| 代理公司： | 苏州市方略专利代理事务所(普通合伙) 32267 | 代理人： | 刘燕娇 |
| 地址： | 215312 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种用于激光干涉仪信号误差的实时补偿装置，包括测量机构、信号处理机构，所述测量机构、信号处理机构依次连接，所述测量机构安装在激光器的一侧；所述测量机构包括分光镜、检偏器一、光电探测器一、偏振分光镜一、平面反射镜一、检偏器二、光电探测器二、法拉第旋光器、角度探测单元、平面反射镜二、角锥棱镜；所述激光器、分光镜、偏振分光镜一、法拉第旋光器、角度探测单元、角锥棱镜从左至右依次设置。本实用新型所述的用于激光干涉仪信号误差的实时补偿装置，解决了激光干涉仪在使用过程中由于光源、环境干扰等因素导致信号存在直流漂移、幅值稳定性、相位误差等误差的问题，实现干涉仪信号的实时补偿和高精度测量，应用前景广泛。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 激光 干涉仪 信号 误差 实时 补偿 装置 | ||
【主权项】：
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