[实用新型]用于吸附抛光盘的上定盘有效
| 申请号： | 202020031473.9 | 申请日： | 2020-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN211639470U | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 杨兆明;颜凯;中原司 | 申请（专利权）人： | 浙江芯晖装备技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11;B24B37/34 |
| 代理公司： | 嘉兴海创专利代理事务所(普通合伙) 33251 | 代理人： | 曾勇 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴市海宁市海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于吸附抛光盘的上定盘，包括呈圆盘状的本体，所述本体侧面开有用于吊装的螺纹孔一，所述本体侧面开有用于固定径向定位块的螺纹孔二，本体中心开有通孔，以通孔为圆心从内到外依次环绕设置有第一凸起块群、第二凸起块群、第三凸起块群、第四凸起块群、第五凸起块群，第一凸起块群、第二凸起块群、第三凸起块群、第四凸起块群、第五凸起块群上均嵌有螺纹衬套。通过真空吸附使得上定盘固锁抛光盘相较于螺钉紧固没有预紧变形，固锁后抛光盘平面度更好。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 吸附 抛光 上定盘 | ||
【主权项】：
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