[实用新型]一种减少移动应力的机械手臂与湿法处理设备安装结构有效
| 申请号： | 202020033151.8 | 申请日： | 2020-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN212445206U | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 邓信甫;许峯嘉;李志峰;徐铭;王雪松 | 申请（专利权）人： | 江苏启微半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B25J5/02 | 分类号： | B25J5/02;B25J11/00;B65G47/90 |
| 代理公司： | 上海智力专利商标事务所(普通合伙) 31105 | 代理人： | 杜冰云 |
| 地址： | 226299 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种减少移动应力的机械手臂与湿法处理设备安装结构，包括设备框架、安装立板及机械手臂，所述安装立板固定安装于设备框架上，机械手臂滑动安装于安装立板上；所述设备框架由中空的金属方钢焊接形成，所述金属方钢两个相对的侧壁均贯穿设置有安装孔，所述安装孔之间设置有安装柱，所述设备框架的一端沿其轴线方向设置有螺纹孔；所述安装立板上贯穿设置有固定孔、应力分散孔、滑动轨道及齿条，所述滑动轨道、齿条沿安装立板的长度方向设置，所述固定孔与螺纹孔对应并通过安装螺栓固定。本发明的安装立板能够完整的贴合于设备框架上，安装立板上设置有应力分散孔与阶梯状的固定孔，可以分散安装立板上对应的应力，保证了安装强度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 减少 移动 应力 机械 手臂 湿法 处理 设备 安装 结构 | ||
【主权项】：
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