[实用新型]一种硅片花篮

摘要

本实用新型公开了一种硅片花篮，包括花篮主体和设于所述花篮主体内的硅片放置组件，所述硅片放置组件包括供硅片插入的卡槽板和用于支撑硅片的支撑底杆；其中，所述卡槽板包括刻度板和与所述刻度板连接的卡板，所述刻度板的侧面设有多个所述卡板，相邻所述卡板形成供硅片插入的卡槽，所述刻度板的顶端设有与所述卡槽相对应的计数标识。采用本实用新型，结构简单，可适用多种规格大小的硅片放置，而且便于统计花篮内的晶片数量。