[实用新型]一种软性吸盘装置有效
| 申请号： | 202020062321.5 | 申请日： | 2020-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN211812264U | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 王伏意;肖健;陈浩;孙铁成 | 申请（专利权）人： | 南京国盛电子有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 张弛 |
| 地址： | 210000 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种软性吸盘装置，包括底板、围绕底板下表面并与贴合的软性密封环，所述软性密封环与底板之间围成一个容腔；底板上具有与容腔连通的抽气孔；吸盘装置与外延片接触后，软性密封环与外延片边缘充分接触，整体上形成密闭空间，通过容腔上的抽气孔抽气，形成负压，实现装取片。软性密封环与外延片边缘接触不会对外延片接触部分造成压痕、压伤的现象，有效提升了外延片良率。同时，采用软性密封环上的燕尾槽与燕尾连接件的连接方式，使软性密封环磨损后可以拆卸替换，而不需要造成整体吸盘装置的报废。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 软性 吸盘 装置 | ||
【主权项】：
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