[实用新型]一种用于团簇束流沉积的超高真空腔体有效
| 申请号： | 202020067537.0 | 申请日： | 2020-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN211644591U | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 汤忠喜;王协彬 | 申请（专利权）人： | 探普（南京）工业科技有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;C23C14/00 |
| 代理公司： | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人： | 石磊 |
| 地址： | 211500 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于团簇束流沉积的超高真空腔体，包括圆柱形腔体，圆柱形腔体的前后两端开口处均设有一个第一法兰接口，两个第一法兰接口的外侧均设有一个第二法兰接口，圆柱形腔体的上下两侧分别设有互为对角设置的第三法兰接口和第四法兰接口；圆柱形腔体的左右两侧还均设有一个第五法兰接口和一个第六法兰接口，圆柱形腔体的上侧还设有第七法兰接口，圆柱形腔体的左右两侧还分别设有第八法兰接口和第九法兰接口；本实用新型体积小，重量轻，便于移动，且法兰接口的布置整齐合理，利于操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 团簇束流 沉积 超高 空腔 | ||
【主权项】：
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