[实用新型]一种制备稀土掺杂光纤预制棒的气相掺杂装置

摘要

本实用新型公开了制备稀土掺杂光纤预制棒的气相掺杂装置，装置包括气化系统、气相传输系统和气相沉积系统，气化系统包括普通沉积原料供给单元、AlCl3蒸发单元和稀土螯合物蒸发单元，其中，AlCl3蒸发单元和稀土螯合物蒸发单元均包括第一加热炉和置于第一加热炉中的蒸发罐；气相传输系统包括高温传输管道、普通沉积原料输送管道以及AlCl3输送管道和稀土螯合物输送管道，普通沉积原料输送管道、AlCl3输送管道和稀土螯合物输送管道的出口段均伸入能够加热的高温传输管道中；气相沉积系统包括与气相传输系统的高温传输管道旋转密封连接的沉积单元和第二加热炉。本实用新型密封性和发挥控制重复性高。