[实用新型]一种高频引燃空心阴极真空电弧阴极结构装置

摘要

为了提高空心阴极真空电弧的高频引弧效率，本实用新型提出了一种高频引燃空心阴极真空电弧阴极结构装置。本实用新型对夹持空心阴极的结构进行电绝缘处理，避免夹持空心阴极的结构出现辉光放电，实现高频方式快速引燃空心阴极真空电弧。所述一种高频引燃空心阴极真空电弧阴极结构装置的特征主要包括：带有高频发生器的电弧电源、水冷套、空心阴极、工件、真空室、真空抽气系统、聚四氟乙烯的圆盘结构、聚四氟乙烯的圆筒结构、陶瓷筒、陶瓷冒、法兰盘、螺母、阴极夹等，带有高频发生器的电弧电源的阴极和阳极分别与空心阴极和工件连接。本实用新型的引弧稳定性优良，操作工艺简单，适于真空电弧技术在工业生产中推广应用。