[实用新型]一种单多晶硅棒自动检测装置有效
| 申请号： | 202020087018.0 | 申请日： | 2020-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN211085127U | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 朱佰庆;李璐;邢旭;王鹏;李贤东;张毅 | 申请（专利权）人： | 长治高测新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B11/24;G01B11/26;G01B11/27;G01N21/952 |
| 代理公司： | 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11624 | 代理人： | 任漱晨 |
| 地址： | 046000 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种单多晶硅棒自动检测装置，属于晶硅加工设备技术领域，包括底座，底座上沿着晶硅的输送方向设置有上下料单元和外形检测单元，所述上下料单元固设在外形检测单元的两侧，用上料和下料，所述外形检测单元的上方设置有上下料移载单元，用于移载晶硅，上下料移载单元上还固设有硬质点检测单元，用于对晶硅进行硬质点检测，能够快速、精确的检测晶硅的表面以及内部的硬质点，检测精度和检测效率极大提高，增加产能，显著降低晶硅的废料比，为晶硅加工全流程的自动化提供可靠保证。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 自动检测 装置 | ||
【主权项】：
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