[实用新型]一种曝光机用的循环冷却装置有效

专利信息
申请号: 202020099526.0 申请日: 2020-01-17
公开(公告)号: CN211086920U 公开(公告)日: 2020-07-24
发明(设计)人: 袁强;刘长征 申请(专利权)人: 龙岩海圣科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 东莞合方知识产权代理有限公司 44561 代理人: 梁洪文
地址: 364300 福建省龙*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 实用新型公开了一种曝光机用的循环冷却装置,解决了现有的曝光机用的循环冷却装置,不仅冷却效果不好,且采用排放或抽取的方式,易影响到室内维持正压值的问题,其包括机台,所述机台上部一侧固定有温度计,机台下部一侧固定有第一管道,第一管道外部一侧固定有箱体,箱体外部一侧固定有防尘网,箱体和机台顶端之间固定有第二管道,机台、箱体、第一管道和第二管道内部之间固定有水冷组件,机台、箱体、第一管道和第二管道内部位于水冷组件外部一侧固定有降温组件;本实用新型结构简单,通过水冷组件能有效的对装置内进行降温冷却,保证装置能正常作业,而循环组件则在保证装置降温的同时,有效的防止室内的正压值不受到影响。
搜索关键词: 一种 曝光 循环 冷却 装置
【主权项】:
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