[实用新型]一种捡晶机侧挡板托盘有效
| 申请号： | 202020102066.2 | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN211350601U | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 王伟;陈志远;聂伟;丁培杰;陈广顺 | 申请（专利权）人： | 江苏汇成光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 王峰 |
| 地址： | 225128 江苏省扬州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了半导体生产制造领域内的一种捡晶机侧挡板托盘，包括捡晶机壳，捡晶机壳前侧设置有开口，捡晶机壳内部设置有操作台，所述捡晶机壳包括上侧挡板和下侧挡板，所述开口位于上侧挡板和下侧挡板之间，所述下侧挡板外侧安装有储物盒，所述储物盒包括相互平行的前侧板和后侧板，所述前侧板和后侧板之间分别设置有左侧板和右侧板，储物盒的各侧板底部水平设置有底板，底板上方的各侧板之间围成储物槽，所述后侧板与下侧挡板相贴靠设置，后侧板上边缘一体设置有弧形主挂钩，主挂钩的长度与后侧板的长度相等，下侧挡板顶部配合伸入主挂钩与后侧板之间的凹槽内。本实用新型能够通过安装储物盒来放置tray盘，减少维修时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 捡晶机侧 挡板 托盘 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
