[实用新型]波长调谐相移干涉测试装置有效
| 申请号： | 202020104005.X | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN211373498U | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 赵智亮;陈立华;刘敏;张志华;龚小康 | 申请（专利权）人： | 成都太科光电技术有限责任公司;赵智亮 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 610041*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种波长调谐相移干涉测试装置及测试方法，包括波长调谐激光器、干涉测试系统、干涉图样采集系统三部分。本实用新型克服了常规干涉仪机械相移器安装繁琐、结构复杂等问题，通过采用自修正相位测试原理，可计算得到干涉腔腔长值，并修正相移误差，从而实现整体干涉仪系统的高精度、高效率检测。实验表明，本实用新型系统装置相位修正误差值为±π/50，系统重复性精度为λ/1000～λ/2000。 | ||
| 搜索关键词： | 波长 调谐 相移 干涉 测试 装置 | ||
【主权项】：
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