[实用新型]一种极紫外光刻用光纤

摘要

本实用新型涉及一种极紫外光刻用光纤，属于紫外光刻的技术领域，该极紫外光刻用光纤包括光纤以及包裹在光纤外壁上的保护套，所述光纤的一端连接有若干根输入光纤，所述光纤的另一端连接有输出光纤，所述输出光纤上螺纹连接有夹头，所述输入光纤的外壁上由外至内依次包裹有防断弹簧套以及硅胶防护层，所述防断弹簧套远离保护套的一端包覆有硅橡胶层；由于防断弹簧套具有良好的硬性，硅胶防护层具有良好的回弹性，利用防断弹簧套以及硅胶防护层保证输入光纤不易弯折；利用具有良好回弹性的硅橡胶层，保证防断弹簧套远离保护套的一端不易弯折，从而保证光纤的抗弯曲性能。