[实用新型]涂胶曝光显影测量一体化装置有效
| 申请号： | 202020142918.0 | 申请日： | 2020-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN211375315U | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 王维斌;李龙祥;林正忠;陈明志;严成勉 | 申请（专利权）人： | 中芯长电半导体（江阴）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/20;G03F7/26;G03F7/30 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 214437 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种涂胶曝光显影测量一体化装置，所述涂胶曝光显影测量一体化装置包括：主腔体，包括涂胶室、曝光室、显影室、测量室；所述涂胶室用于执行涂胶工序，所述曝光室用于执行曝光工序，所述显影室用于执行显影工序，所述测量室用于测量关键尺寸；晶圆卸载台，用于放置加工完成的晶圆，位于所述主腔体的出口处；机械手臂，用于晶圆的夹取与传送；控制单元，控制所述涂胶曝光显影测量一体化装置的运行。本实施例提供的涂胶曝光显影测量一体化装置及，使曝光机能够和涂胶机、显影机两种有污染气体的设备，有效的结合在一起，提供高效的产出，节约净化厂房空间布局，人力投入，使生产成本大幅降低。 | ||
| 搜索关键词： | 涂胶 曝光 显影 测量 一体化 装置 | ||
【主权项】：
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