[实用新型]显影机有效
| 申请号： | 202020143293.X | 申请日： | 2020-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN211826897U | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 江家谊 | 申请（专利权）人： | 亚智科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人： | 赵梦雯;艾晶 |
| 地址： | 中国台湾桃*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型揭露一种显影机，为一种针对扇出型面板级封装结构的玻璃基板进行黄光作业的显影机，本实用新型显影机包括一机壳、复数组压制机构、复数个边导轮、一第一药刀机构、一浸泡槽、一第二药刀机构，以及一第四传感器；借此，本实用新型的显影机主要借由压制机构与浸泡槽的硬件设计，有效使用压制机构的压制弹簧压制扇出型面板级封装结构的基板以避免翘取，再借由在籍传感器启动往复移动以完成显影作业，确实达到提高对基板的夹持力而避免射片与滑片造成破片的问题，以及制程过程中的基板整平性与均一性等主要优势。 | ||
| 搜索关键词： | 显影 | ||
【主权项】：
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