[实用新型]静电吸附装置有效
| 申请号： | 202020154423.X | 申请日： | 2020-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN211890875U | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 徐绍宸;李富海;鲍晓亮;蒉张涛;魏继江 | 申请（专利权）人： | 吸力奇迹（天津）科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/00 | 分类号： | B25J15/00;C23C14/35;C23C14/08;B32B15/20;B32B15/04;B32B9/00;B32B9/04;B32B17/06;B32B27/28;B32B27/06;B32B33/00;H01L21/683;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300480 天津市滨海新区滨海天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例提供了一种静电吸附装置，解决了现有静电吸附装置在吸附导电性较好的物品时的释放困难问题。本实用新型一实施例提供的一种静电吸附装置包括：底板；设置在所述底板表面的电极层，构造为通电后通过累积电荷产生静电吸附力；设置在所述电极层表面的接触层，构造为防止静电击穿；以及设置在所述接触层表面的导电层，构造为中和所述电极层通电结束后所述接触层中的残余电荷。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 吸附 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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