[实用新型]进气分配结构以及等离子体设备有效

专利信息
申请号: 202020159607.5 申请日: 2020-02-10
公开(公告)号: CN211645376U 公开(公告)日: 2020-10-09
发明(设计)人: 董海青;申鹏 申请(专利权)人: 深圳市创智捷科技有限公司
主分类号: C23C16/455 分类号: C23C16/455;C23C16/50;B01D46/24;B01D46/42
代理公司: 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 代理人: 汪建华
地址: 518100 广东省深圳市宝安区航城街*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了进气分配结构,包括进气管,进气管的一端设有气流导向盘,气流导向盘的远离进气管的侧面与外部真空筒连接,进气管与气流导向盘同轴设置;气流导向盘包括为腔体结构的圆盘体,圆盘体的中部设有与进气管连通的聚气腔,圆盘体上设有多个呈曲线延伸的分流导向通道,分流导向通道的一端与聚气腔连通,分流导向通道的另一端穿过圆盘体与真空筒连通。还公开了等离子体设备。通过设置分配结构,气流经过进气管后会先聚集在聚气腔内,然后沿着分流导向通道曲线移动,行进气流最终从圆盘体进入到真空筒的筒内空间。可对气流进行导向分散和冲击弱化,使得气体更平稳地充满真空筒,有利于提高气相沉积的平稳性。
搜索关键词: 分配 结构 以及 等离子体 设备
【主权项】:
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