[实用新型]一种提高真空镀膜气氛均匀性的气路装置

摘要

本实用新型公开的一种提高真空镀膜气氛均匀性的气路装置，包括一个进气管、至少一个次级分管和一个出气管，所述次级分管将进气管中气体1‑10级对称等分后与出气管连接，所述出气管的两端封闭，出气管沿其长度方向均匀的布置有等径的出气孔。本实用新型与常规气路装置比较，保证了较长长度的气体流量的一致性，提供的气氛更均匀，可控性更高，气氛调整速度快。