[实用新型]一种硅基叠层太阳能电池

摘要

本实用新型公开了一种硅基叠层太阳能电池，包括底电池结构和层叠于底电池结构之上的顶电池结构，底电池结构包括n型单晶硅衬底，n型单晶硅衬底上表面的四周设置SiO2绝缘层，中间制备p型掺杂层，在p型掺杂层和n型单晶硅衬底的层叠区域刻蚀制备竖直方向的纳米孔周期阵列结构，n型单晶硅衬底的纳米孔内为空隙，n型单晶硅衬底的下表面设置金属薄膜层；顶电池结构由下至上依次包括TiO2薄膜层、钙钛矿吸收层、空穴传输层、透明导电薄膜层和金属电极。本实用新型利用周期纳米孔阵列优异的光吸收和电荷传输性能，提高了底电池长波光子的利用效率，在兼容硅基电池工艺的同时提高了叠层太阳能电池的光电转换效率。