[实用新型]一种掩膜板卡匣有效
申请号: | 202020180606.9 | 申请日: | 2020-02-18 |
公开(公告)号: | CN211845471U | 公开(公告)日: | 2020-11-03 |
发明(设计)人: | 申承澈;苗润财;张震 | 申请(专利权)人: | 上海繁枫真空科技有限公司 |
主分类号: | B65D25/10 | 分类号: | B65D25/10;B65D85/30 |
代理公司: | 上海互顺专利代理事务所(普通合伙) 31332 | 代理人: | 成秋丽 |
地址: | 201507 上海市金山区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种掩膜板卡匣,涉及掩膜板放置卡匣技术领域,包括卡匣主体,所述卡匣主体上开设有放置口,所述卡匣主体内设置有承放板,所述承放板在卡匣主体中水平设置,所述承放板设置有若干组,各组所述承放板在卡匣主体中上下层叠设置,相邻所述承放板之间形成掩膜板放置腔,所述承放板上表面开设有用于放置掩膜板的放置槽,本实用新型提供了一次装载多块掩膜板、掩模板碰撞损坏、使用寿命长、成本低的一种掩膜板卡匣。 | ||
搜索关键词: | 一种 板卡 | ||
【主权项】:
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