[实用新型]一种涂胶机托盘有效
| 申请号： | 202020189604.6 | 申请日： | 2020-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN211887742U | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 杨辰;王亚军 | 申请（专利权）人： | 宁波得力微机电芯片技术有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/11 | 分类号： | B05C11/11;B05C11/08;B05C13/02;G03F7/16 |
| 代理公司： | 宁波诚源专利事务所有限公司 33102 | 代理人： | 胡志萍;张艳鹏 |
| 地址： | 315699 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种涂胶机托盘，包括本体，所述本体具有供晶圆承载台置于其内的凹腔，所述本体的底部开设有供转台伸入凹腔内的穿孔，其特征在于：所述凹腔内设有能套设在转台上的套筒部，该套筒部自穿孔的周缘处向上延伸，且所述套筒部和凹腔共同围成能够积存残胶的存胶区域。本实用新型的托盘内设有套设在转台上的套筒部，套筒部和托盘的内壁共同构成能够积聚残胶的存胶区域，这样一定量的残胶可积存在存胶区域中，待多次旋涂晶圆后再进行清理，减少涂胶后清洁的次数和步骤；并且晶圆承载台位于托盘内，能防止光刻胶残胶被甩至机台上、对机台内部造成污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 涂胶 托盘 | ||
【主权项】：
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