[实用新型]一种SiC涂层高纯石墨舟片

摘要

本实用新型涉及硅片生产技术领域，尤其指一种SiC涂层高纯石墨舟片，包括石墨舟片壁、硅片安装位、插接连接件、接线凸起、滑动轨道和滑动挡片，所述石墨舟片壁包括横向侧壁和纵向侧壁，所述纵向侧壁与横向侧壁垂直连接，所述硅片安装位设置于纵向侧壁与横向侧壁之间。本实用新型采用第一固定挡片、第二固定挡片、第三固定挡片动挡片的结构设计，能够实现硅片的快速安装和固定，提高生产效率，缩短工艺时间；此外，本实用新型采用高纯石墨作为材料，提高了石墨舟片的结构致密性、化学稳定性，然后石墨舟片的表面设置SiC涂层，进一步提高了石墨舟片的耐腐蚀性。