[实用新型]一种基于大气压微波等离子体炬的气相反应缓冲室

摘要

一种基于大气压微波等离子体炬的气相反应缓冲室，属于等离子体技术及环境化学应用领域。包括气体注入部件、缓冲室、气压表、排气泵，其中缓冲室设于气体注入部件上方，缓冲室顶部与气压表、排气泵连接。气体注入部件包括矩形波导、可移动金属挡板、缓冲室法兰、放电管，工作气体通入放电管内形成涡旋气流场，在微波电场的诱导下放电管内工作气体产生电离形成微波等离子体放电。所述缓冲室内保持一定的工作气压，使等离子体炬保持稳定的放电形态。本实用新型能够增大等离子体和气体的相互作用区域内的等离子体密度和电子温度，有助于进一步提高等离子体气相反应的化学反应速率，同时使得通入到放电管内的气体能够完全充分地参与等离子体化学反应。