[实用新型]一种抗高温形变的石墨舟片

摘要

本实用新型公开了一种抗高温形变的石墨舟片，包括舟片本体、开设在舟片本体上的若干间隔分布的硅片腔位、设于所述硅片腔位周边的若干卡点以及用于进行舟片间串接的连接孔，所述舟片本体前表面或/和后表面设有若干凹槽，所述凹槽沿舟片本体宽度方向贯通开设。通过在舟片本体表面间隔开设凹槽来减小石墨舟片受热变形量，确保插片精度和镀膜效果，提高舟片的使用寿命；与现有的石墨舟片相比，本实用新型可将舟片变形量由1～2mm降至至0.5mm以内，使用寿命提高100%以上，有效降低舟片更换频率，减少镀膜成本。