[实用新型]四氯化硅尾气的处理装置

摘要

本实用新型提供了一种四氯化硅尾气的处理装置。该处理装置包括：第一反应器，用于使四氯化硅尾气与过量碱液反应得到含有硅酸盐和次氯酸盐的第一反应产物；固液分离器，与第一反应器的出口连通，用于将第一反应产物固液分离以得到分离液；第二反应器，与固液分离器的出口连通，用于使次氯酸盐与还原剂发生氧化还原反应转化为氯盐以得到第二反应产物；酸碱中和装置，与第二反应器的出口连通，用于将酸液与第二反应产物混合以中和过量的碱液。采用上述装置对四氯化硅尾气进行处理时，能够利用亚硫酸钠等还原剂处理掉淋洗后废碱液中的次氯酸盐，从而避免了次氯酸盐在酸性环境下生成的氯气在设备或者管道低处的聚集，降低了生产安全隐患的发生。