[实用新型]一种高精度平面度检测装置

摘要

本实用新型公开了一种高精度平面度检测装置，包括检测箱体、平面度计算模块、匀光模块和取像模块，检测箱体顶壁开有卡口，卡口处卡设有平面平晶，所述匀光模块和取像模块设于检测箱体内，匀光模块包括光源罩和设于光源罩中的三色干涉光源，光源罩顶壁为匀光板；取像模块包括若干个CCD网络相机，CCD网络相机朝向平面平晶底部，对平面平晶底部取像；CCD网络相机与平面度计算模块连接。本实用新型检测时平面平晶底部、匀光模块和取像模块均处于封闭的检测箱体内，同时通过多个CCD网络相机取像，能够有效避免外界光环境对匀光和取像的干扰，使干涉条纹的呈现和取像更准确，增加平面度的检测精度。