[实用新型]一种纳米真空镀膜仪的斜切式观察窗有效
| 申请号： | 202020211241.1 | 申请日： | 2020-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN211689226U | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 王宁 | 申请（专利权）人： | 苏州泓沵达仪器科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 丰叶 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种纳米真空镀膜仪的斜切式观察窗，包括设置在真空镀膜仪的腔体(1)上的观察窗，所述观察窗包括用以观察样品台(2)的样品台观察窗(3)、观察蒸发源(4)的源材料观察窗(5)，所述样品台观察窗(3)、源材料观察窗(5)设置在腔体(1)的相对两侧，所述样品台观察窗(3)、源材料观察窗(5)均倾斜设置，从所述样品台观察窗(3)、源材料观察窗(5)入射的光线分别直接打在样品台(2)、蒸发源(4)开口处。本实用新型利于样品台表面或蒸发源开口处的直接观察，给生产或科研带来了很大的便利。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 真空镀膜 斜切 观察窗 | ||
【主权项】：
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