[实用新型]一种具有清洁结构的单晶硅片抛光机有效
| 申请号： | 202020218520.0 | 申请日： | 2020-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN211681520U | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 沈培琴 | 申请（专利权）人： | 徐州永泽新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/00;B24B47/22;B08B1/04 |
| 代理公司： | 合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙) 34126 | 代理人： | 晋圣智 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市邳州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于单晶硅片抛光机领域，具体为一种具有清洁结构的单晶硅片抛光机，包括抛光机构，所述抛光机构包括抛光机、抛光盘，所述抛光机顶部设有所述抛光盘，所述抛光机构上设有位移机构，所述位移机构上设有清洁机构，所述清洁机构包括伸缩气缸、连接板、清洁支撑架、电机一、清洁刷辊，所述伸缩气缸伸缩杆上设有所述连接板，所述连接板后部焊接有所述清洁支撑架，所述清洁支撑架上且位于所述连接板一侧设有所述电机一，所述电机一输出轴上设有所述清洁刷辊，所述清洁刷辊一侧设有水管，所述水管底部均匀分布有喷水嘴。本实用新型采用清洁机构和位移机构，从而可以对单晶硅片抛光机进行清洁，因此使用方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 清洁 结构 单晶硅 抛光机 | ||
【主权项】：
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