[实用新型]一种铁电畴定义的MoTe2

摘要

本专利公开了一种铁电畴定义的MoTe2面内PN结。PN结结构自下而上依次是绝缘衬底、金属底电极、铁电功能层、过渡金属硫族化合物双极性半导体MoTe2和石墨烯电极。器件的制备步骤是先运用紫外光刻或者电子束光刻的方法结合热蒸发、剥离工艺在绝缘衬底上制备左右两个金属底电极，然后用旋涂法在底电极上制备铁电薄膜，随后通过机械剥离法将双极性半导体MoTe2转移至铁电薄膜上，然后通过机械剥离工艺获得石墨烯并转移至MoTe2上作为电极，最后分别给左右两个底电极施加正向和负向电压脉冲调节铁电薄膜的极化方向相反，从而将双极性半导体两边调节成电子和空穴导电，形成面内PN结。该类PN结具有典型的整流特征，无需一直施加外加栅压，稳定性好等特点。