[实用新型]晶粒双面同时等光程成像且等照度照明的检测装置有效
| 申请号： | 202020230481.6 | 申请日： | 2020-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN211856382U | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 廖廷俤;颜少彬;段亚凡;李世展 | 申请（专利权）人： | 泉州师范学院 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/95;G02B17/08 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 林捷;蔡学俊 |
| 地址： | 362000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型晶粒双面同时等光程成像且等照度照明的检测装置，该装置包括在垂直光路方向上依次设置的相机、远心成像镜头、合像光学元件和半导体晶粒，所述合像光学元件与半导体晶粒之间的两侧部设有梯形转像棱镜，半导体晶粒的两个侧面分别通过梯形转像棱镜、合像光学元件以双光路成像在相机传感器面上不同的区域位置,本实用新型以单一的合像光学元件取代两个独立的直角转像棱镜实现双面成像光路的合像功能，该方案装配结构简单，合像光路调试更简易方便，且双面合像精度更高。 | ||
| 搜索关键词： | 晶粒 双面 同时 光程 成像 照度 照明 检测 装置 | ||
【主权项】：
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