[实用新型]高效纳米真空镀膜仪有效
| 申请号： | 202020233505.3 | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN211689212U | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 王宁 | 申请（专利权）人： | 苏州泓沵达仪器科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50;C23C14/56 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 丰叶 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高效纳米真空镀膜仪，包括底座，底座上设置有真空室，真空室顶部设置有镀膜气缸，镀膜气缸的活塞杆贯穿真空室并与镀膜机构连接，真空室侧壁设置有通槽，底座上设置有滑动槽，滑动槽一端位于真空室内，滑动槽内沿长度设置有滑轨，滑轨通过滑块与加工机构连接，底座上设置有与滑块连接的加工气缸，加工机构能通过加工气缸驱动滑块带动其在滑轨上做往复运动并穿过通槽，当加工机构移动至滑轨位于真空室内一端时，加工机构位于镀膜机构下方，加工机构侧壁能与通槽内壁接触，装置结构简单，能够实现高效镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 高效 纳米 真空镀膜 | ||
【主权项】：
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