[实用新型]一种用于真空镀膜的样品高温加热装置

摘要

本实用新型公开了一种用于真空镀膜的样品高温加热装置，此装置设置在真空镀膜室内，包括基材加热组件、靶材加热组件，所述基材加热组件设置在真空镀膜室的上方，且能将所述真空镀膜室内的基材夹持组件夹持的基材加热，同时能对所述真空镀膜室进行预加热，所述靶材加热组件位于基材夹持组件的下方，且所述靶材加热组件能将靶材加热，并使所述靶材加热组件上的靶材蒸发。通过对基材和靶材的分别加热，来达到分别精准控制的目的，进而保证在基材上的靶材层的均匀和牢固，为真空镀膜技术进一步的发展提供一种可靠的加热方案，而且这种加热方式更环保节能。