[实用新型]一种离子源气体纯化装置有效
| 申请号： | 202020234312.X | 申请日： | 2020-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN211837084U | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 赵良超;何小中;马超凡;龙全红;杨兴林;李洪 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院流体物理研究所 |
| 主分类号： | B01D53/00 | 分类号： | B01D53/00 |
| 代理公司： | 成都四合天行知识产权代理有限公司 51274 | 代理人： | 冯龙;王记明 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种离子源气体纯化装置，包括离子源、导管、降温装置，所述导管的一端与离子源连通，导管的另一端用于连接供气装置，所述导管穿过降温装置，所述降温装置能够对导管进行减温，并且能够将导管内气体的杂质分离纯化。利用气体的沸点，凝固点的差异，通过降温装置对离子源装置供气导管进行降温，降温装置能够使导管的一段处于低温状态，当气体经过低温管路时，气体中的杂质遇冷会液化甚至固化，固化和液化后的杂质会吸附在导管管壁上，不会再随气流流动，从而降低进入离子源气体的杂质含量，提高通入离子源气体的纯度，使得离子源的阴极损耗速率降低，进而让离子源的使用寿命增长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子源 气体 纯化 装置 | ||
【主权项】：
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