[实用新型]一种单晶炉用保温筒结构及单晶炉有效
申请号: | 202020245510.6 | 申请日: | 2020-03-03 |
公开(公告)号: | CN211814710U | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 陈超;刘进怀;殷勇;陈斌 | 申请(专利权)人: | 湖南金创新材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 长沙国科天河知识产权代理有限公司 43225 | 代理人: | 邱轶 |
地址: | 410000 湖南省*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本实用新型公开一种单晶炉用保温筒结构及单晶炉,包括底部高温板、下保温筒、中保温筒、上保温筒以及上保温板,上保温筒包括上外保温筒和上内保温筒,上外保温筒连接提升机构并能在提升机构的驱动作用下做上下往复移动。本实用新型通过将上保温筒分为上外保温筒和上内保温筒,在熔料阶段,上外保温筒扣合在中保温筒的顶部,上保温筒的厚度大于或等于中保温筒的厚度,从而减少热量的散失,进而减少硅料的熔料时间,降低能耗;在等径生长阶段,上外保温筒在提升机构的作用下向上提升,此时上保温筒的厚度小于中保温筒的厚度,从而降低热场上部的温度,提高热场的纵向温度梯度,进而提高晶体的等径生长速度,降低单晶硅棒生产的能耗。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉用 保温 结构 单晶炉 | ||
【主权项】:
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