[实用新型]一种单晶炉用组合坩埚有效
申请号: | 202020246248.7 | 申请日: | 2020-03-03 |
公开(公告)号: | CN211814713U | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 陈超;刘进怀;殷勇;陈斌 | 申请(专利权)人: | 湖南金创新材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;C30B29/06 |
代理公司: | 长沙国科天河知识产权代理有限公司 43225 | 代理人: | 邱轶 |
地址: | 410000 湖南省*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本实用新型公开一种单晶炉用组合坩埚,包括相互扣合的埚筒和埚碗,所述埚筒包括上埚环、下埚环、N根埚条以及2N个紧固件,N根所述埚条的两端分别可拆卸的连接所述上埚环和下埚环并形成筒状结构,相邻两根所述埚条之间具有间隙,所述下埚环可拆卸的连接埚碗;其中N个所述紧固件连接所述上埚环与埚条的一端,另外N个所述紧固件连接所述下埚环与埚条的另一端。本实用新型采用上埚环、下埚环、多条埚条以及紧固件实现埚筒的整体结构设计,结构简单,安装拆卸方便;在制造半导体硅单晶的过程中出现埚筒局部破损或失效时,只需更换部分埚条或上埚环、下埚环,而不会造成整个坩埚报废,节约了碳‑碳复合材料资源,降低了半导体硅单晶的生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉用 组合 坩埚 | ||
【主权项】:
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